CD2 Analyzed CD using home made microscope, compensate tilt by rotating sample In metrology tool there is always artifact on the tool. especially there is artifacts coming from mechanical tolerance or calibration. Mechanical stuffs are usually calibrated but it's difficult to be handled as it needs tool down and limitations in physically controlling small things. I wondered whether it's possible to compensate it by measuring images in several perspectives and processing it.. 2024. 10. 17. 직접만든 현미경으로 측정한 이미지로 CD를 분석해보았습니다. 이전 글에서 이어집니다. 집에 있는 현미경을 이용해 이미지를 반복해서 얻고, 이를 이용해 일부 구조의 CD를 분석해보았습니다. 아래는 첫 번째로 사용해본 샘플입니다. 현미경을 만들고 나서 뭐든 봐보고 싶었는데 마땅한 샘플이 없어 굴러다니는 보드에 박힌 칩을 부숴서 측정했습니다. 특별한 도구 없이 부수려니 반도체 부분을 노출시키기가 어렵더군요. 살짝 노출된 단이진 부분이 반도체 부분입니다.현미경으로 보면서 측정하기 적합해보이는 부분을 찾았습니다. 오른쪽 이미지와 같은 위치를 선택하여 line간 위치를 분석하는 것을 목표로 하였습니다. 5분마다 이미지를 측정하였고, 측정된 이미지에서 line간 간격을 분석하려 했습니다 1. roi 정하기측정한 이미지에서 일부 영역에서만 분석을 진행할 것이기에 r.. 2024. 10. 8. 이전 1 다음
